اتاق تمیز میکروالکترونیک

اتاق تمیز میکروالکترونیک یک محیط تولید ویژه برای اطمینان از کیفیت و کارایی محصول در صنعت میکروالکترونیک است. برای این پروژه فاکتورهای زیادی از جمله تصفیه هوا، دما، رطوبت، کنترل الکترواستاتیک و نویز و غیره در نظر گرفته شده است.

کلاس های مختلف صنایع کاربردی اتاق تمیز میکروالکترونیک:

1.تولید مدار مجتمع

- ISO 1 - 3: اغلب در پیشرفته‌ترین فرآیندهای فوتو اچینگ، اچینگ و موارد دیگر استفاده می‌شود که نیاز به کنترل بسیار بالای ذرات ریز دارد و آلودگی جزئی ممکن است منجر به نقص تراشه شود.

- ISO 4 - 5: مناسب برای رسوب لایه نازک، کاشت یون و سایر فرآیندها در تولید تراشه، و همچنین دارای الزامات کنترل ذرات دقیق است.

2.تست کپسوله سازی نیمه هادی

- ISO 6 - 7: می تواند الزامات اکثر پیوندهای تست بسته بندی، مانند بسته بندی تراشه، تست عملکرد و غیره را برآورده کند.

3. تولید صفحه نمایش

- ISO 5 - 6: مورد استفاده در پوشش و نوردهی در ساخت پنل LCD.

4. تولید قطعات الکترونیکی

- ISO 7 - 8: برای تولید قطعات الکترونیکی با نیازهای محیطی نسبتاً کم مانند مقاومت، خازن و غیره استفاده می شود.

به طور خلاصه، هر چه کلاس اتاق تمیز بالاتر باشد، تعداد ذرات معلق موجود در هوا کمتر می‌شود و می‌توان آن را کنترل کرد، محیط خالص‌تر و برای فرآیندهای تولید میکروالکترونیکی که به محیط‌های تولید بسیار سخت‌گیرانه نیاز دارند، مناسب‌تر است. با این حال، اتاق تمیز طبقه پایین برای فرآیندهای تولیدی که به محیط نسبتاً شل نیاز دارند، مناسب است.

دستگاه های اصلی سیستم تصفیه هوا اتاق تمیز میکروالکترونیک:

1-فیلتر هوا

- فیلتر بازده اولیه: عمدتاً برای فیلتر کردن ذرات بزرگتر مانند گرد و غبار، مو و غیره استفاده می شود تا نقش اولیه در تصفیه هوا را ایفا کند.

- فیلترهای با راندمان متوسط: آلاینده های ذرات متوسط ​​را فیلتر کرده و تمیزی هوا را بیشتر بهبود می بخشد.

- فیلتر HEPA: دستگاه کلیدی برای دستیابی به تمیزی بالا دارای راندمان فیلتراسیون بالایی برای ذرات بالای 0.3 میکرون است.

- فیلتر با راندمان فوق العاده بالا (فیلتر ULPA): برای ذرات 0.1 - 0.3 میکرون راندمان فیلتراسیون آن می تواند بالای 99.999% باشد و اغلب در مکان هایی با نیاز به تمیزی بسیار بالا استفاده می شود.

2. فن

- مسئول هدایت جریان هوا، عبور هوا از فیلتر و گردش در اتاق تمیز.

3. کانال

- برای انتقال هوای فیلتر شده برای اطمینان از توزیع یکنواخت هوا در تمام مناطق اتاق تمیز استفاده می شود.

4. واحد حمل هوای تازه

- هوای تازه را به بیرون معرفی کنید، آن را فیلتر کنید و دما و رطوبت را برای رفع نیازهای اتاق تمیز تنظیم کنید.

5. واحد تصفیه هوا

- ادغام انواع توابع تصفیه و تهویه، مانند فیلتراسیون، عقیم سازی، رطوبت زدایی، مرطوب سازی و غیره.

6. محفظه فشار استاتیک

جریان هوا را تثبیت می کند، تلاطم و سر و صدای جریان هوا را کاهش می دهد و جریان هوا را از طریق فیلترها تضمین می کند.

7. صدا خفه کن

- کاهش سر و صدای تولید شده توسط فن ها و جریان هوا، ایجاد یک محیط کاری آرام

8. سنسورها و کنترلرهای فشار دیفرانسیل

- بر اختلاف فشار بین مناطق مختلف اتاق تمیز نظارت کنید تا مطمئن شوید که هوا در جهت از پیش تعیین شده جریان دارد تا از آلودگی متقاطع آلاینده ها جلوگیری شود.

این دستگاه ها با هم کار می کنند تا اطمینان حاصل شود که کیفیت هوای اتاق تمیز میکروالکترونیک به کلاس تمیزی مورد نیاز می رسد.

مراحل کلیدی و نکات فنی مهندسی اتاق تمیز میکروالکترونیک:

1. برنامه ریزی طراحی: با توجه به فرآیند تولید و الزامات، کلاس اتاق تمیز، منطقه، چیدمان و غیره را تعیین کنید. در عین حال مسیر جریان پرسنل، مواد و تجهیزات و همچنین طراحی تصفیه هوا، تهویه مطبوع و سیستم های روشنایی باید در نظر گرفته شود.

2. ساختار ساختمان: باید عملکرد آب بندی و عایق حرارتی خوبی داشته باشد تا تأثیر محیط خارجی بر داخل را کاهش دهد. در عین حال باید از موادی استفاده کرد که به راحتی گرد و غبار و الکتریسیته ساکن تولید نمی کنند مانند فولاد ضد زنگ و آلیاژ آلومینیوم.

3. سیستم تصفیه هوا: این بخش اصلی مهندسی اتاق تمیز میکروالکترونیک است. معمولاً برای حذف گرد و غبار، باکتری ها، ویروس ها و سایر آلاینده های موجود در هوای داخل ساختمان از فیلترها، فن ها، کانال های هوا و سایر وسایل با کارایی بالا استفاده می شود تا هوا به درجه تمیزی خاصی برسد.

4. سیستم تهویه مطبوع: باید قادر به کنترل دمای داخلی، رطوبت و اختلاف فشار باشد تا نیازهای فرآیند تولید را برآورده کند. در عین حال، تجهیزات و فناوری تهویه مطبوع صرفه جویی در انرژی و سازگار با محیط زیست باید برای کاهش هزینه های عملیاتی اتخاذ شود.

5. کنترل الکترواستاتیک: فرآیند تولید میکروالکترونیک مستعد تولید الکتریسیته ساکن است که بر کیفیت محصول تأثیر می گذارد. بنابراین لازم است اقدامات حذف استاتیک مانند استفاده از حذف کننده های ساکن، کف سازی ضد الکتریسیته ساکن و ... انجام شود.

6. کنترل صدا: صدا بر راندمان کاری و سلامت پرسنل تأثیر می گذارد، بنابراین باید اقدامات کنترل صدا مانند استفاده از مواد عایق صدا، نصب صدا خفه کن و غیره انجام شود.

7. سیستم روشنایی: باید بتواند روشنایی و یکنواختی کافی را برای برآوردن نیازهای فرآیند تولید فراهم کند. در عین حال، تجهیزات و فناوری های روشنایی سازگار با محیط زیست و صرفه جویی در انرژی باید برای کاهش هزینه های عملیاتی اتخاذ شود.

8. مدیریت پرسنل و مواد: ورود و خروج پرسنل و مواد باید به شدت مدیریت و کنترل شود تا ورود آلاینده های خارجی کاهش یابد. در عین حال، پرسنل باید برای بهبود آگاهی از پاکیزگی و مهارت های عملیاتی خود آموزش ببینند.

9. تست و تأیید: پس از ساخت اتاق تمیز، آزمایش و تأیید باید انجام شود تا اطمینان حاصل شود که عملکرد اتاق تمیز با الزامات طراحی مطابقت دارد که شامل تمیزی هوا، دما، رطوبت، اختلاف فشار، الکتریسیته ساکن و غیره است.

در نتیجه، مهندسی اتاق تمیز میکروالکترونیک یک سیستم پیچیده است که به عوامل متعددی نیاز دارد. تنها با استفاده از تکنولوژی و تجهیزات پیشرفته می توان اتاق تمیزی ساخت که مطابق با الزامات باشد.

تگ های محبوب: اتاق تمیز میکروالکترونیک، تامین کنندگان اتاق تمیز میکروالکترونیک چین، تولید کنندگان، کارخانه, Skoon kamer wat skoonkamers ontvang, Skoon kamermure, Skoon kamer bril, Skoon kamer gemaklike omgewing, Skoon kamerplafonne, Skoon kamer drankproduksie